lot的分类

按谁出钱来分:

  • 客户付钱的量产订单lot
  • 客户付钱的实验片
  • fab自己的实验片
  • Test wafer (Fab出钱):分为dummy wafer、monitor wafer、season wafer

按flow长度来分:

  • full loop:从第一站走到最后一站的lot
  • short loop:节选flow的lot,只走部分加工站点
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THE END
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