按谁出钱来分:
- 客户付钱的量产订单lot
- 客户付钱的实验片
- fab自己的实验片
- Test wafer (Fab出钱):分为dummy wafer、monitor wafer、season wafer
按flow长度来分:
- full loop:从第一站走到最后一站的lot
- short loop:节选flow的lot,只走部分加工站点
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THE END
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